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洁净室的送风末端装置

1.用于以过滤生物气溶胶为主要目的、5级或5级以上洁净室或者有专门要求的送风末端过滤器或其末端装置安装后，应逐台进行现场扫描检漏，天津电子厂车间净化价格，并应合格。 2.5级以下以过滤非生物气溶胶为主要目的的洁净室的送风过滤器或其末端装置安装后应现场进行扫描检漏，检漏比例不应低于25％。扫描过滤器现场检漏方法可按附录e的方法执行。

3.送风末端过滤器和框架之间采用密封垫密封、负压密封、液槽密封、双环密封和动态气流密封等方法时，都应将填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。不得在过滤器边框与框架之间直接涂胶密封。

4.采用密封垫时，压缩率宜为25％～30％，不得将密封垫压死。密封垫材质和接头形式应符合本规范第5．3．2～5．3．3条的规定。当用螺栓、压块压紧密封垫时，四角应压紧，不得只压边框中点。当过滤器边框长度尺寸大于320mm时，应至少采用四角8点压紧。

洁净室净化设备安装

1.安装设备的地面应水平、平整，设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴水平。

2.带风机的气闸室或空气吹淋室与地面之间应垫隔振层，天津电子厂车间净化设计，缝隙应用密封胶密封。

3.带风机的层流罩直接安装在吊顶上时，其箱体与吊顶板接触部位应有隔振垫等防振措施，缝隙应用密封胶密封。

4.凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运行，试运行时叶轮旋转方向应正确，试运行时间按设备的技术文件要求确定，当无规定时，不应少于1h。