




未来哪几大行业对无尘车间需求增加
半导体、芯片、集成电路生产的无尘车间要求
大力支持发展半导体,半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于---和---规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品的一个---问题。
芯片从上世纪50年代发展至今,大致经历了三大发展阶段:在美国发明起源-在日本加速发展-在韩国与---成熟分化。前两次半导体产业转移原因分别是:日本在pcdram市场获得美国---;韩国成为pcdram新的主要生产者和---在晶圆代工、芯片封测领域成为代工。如今已成为半导体的市场,在---的需求和有力的政策推动下,芯片行业正迎来第三次产业转移,向---转移的趋势已不可阻挡。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有---的要求,天津无尘车间,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于---规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
无尘车间送风方案
当回风含尘浓度较高或有大粒径灰尘、纤维等情况下,可在回风口或回风管道上设置中效过滤器。
在围护结构比较严密的条件下,为防止系统停止运行后室外污染空气由新风口进入洁净室,除在回风口或回风管道上设置中效过滤器外,可在新风人口管道上设置电动密闭阀并与风机连锁。当风机启动时,密闭阀打开,停止运行时关闭;或在新风人口管道上设置一般调节阀,再增设一道中效过滤器。
设置值班风机的系统
当净化空调系统间歇运行时,为防止系统停运后室外污染空气通过围护结构的缝隙或从新风口进入洁净室,可以设置值班风机。
值班风机的风量按维持室内预定正压值所需换气次数确定;如果洁净室内的排风系统全天运行或在非生产时减少风量运行,则值班风机的风量还应考虑排风系统的排风量。
无尘车间净化方案
在满足工艺要求的条件下,应尽量选用局部净化方式。局部净化采用局部净化设备,在一般空调环境中实现。由于局部净化设备一般均由工厂生产,设备高,又可加快现场施工速度,在改建工程中可以优先考虑这种方案。
当只用局部净化方式不能满足工艺要求时,可采用局部净化与全室净化相结合的净化方式作为设计方案。
当上述净化方式均不能满足工艺要求时,才选用全室净化的净化方式作为设计方案。由于这种方式要造成全室具有相同的洁净度,---是洁净度级别高时,初投资和运行费用都---,因此,洁净室的面积应严格加以控制。
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